蒸着セル

特長

有機蒸着セル

  • ICF-70によるコンパクト&省スペース設計です。
  • 2層ヒーター構造によるルツボの温度勾配設定が可能です。
  • ルツボの形状を換えることで2源蒸着セルに変更可能です。
  • シャッター機構標準装備しています。
  • ±0.1℃による温度設定が可能です。
  • 素材の温度むらを防ぐ熱伝ボールが付いています。

金属蒸着セル

  • コンパクトで手軽に使用可能なK-Cellです。
  • ルツボ容量は10㏄、幅広い用途でお使い頂けます。
  • 均一なルツボ温度。
  • メンテナンスが容易です。
  • 温度安定性・操作性に優れています。

応用蒸発材料

  • Al(Aluminum)
  • As(Arsenic)
  • Ga(Gallium)
  • In(Indium)
  • P(Phosohorus)
  • Si(Silicon)etc…

仕様

有機蒸着セル

ルツボ容量 8cc(1源)/4cc(2源)
加熱制御温度 100℃~500℃
ルツボ材質 PBN/石英/高密度カーボン
取付フランジ ICF-70

金属蒸着セル

常用加熱温度 1200℃
最高加熱温度 1400℃ max
ルツボ材質 PBN(Pure Boroon Nitride)
ルツボ容量 10cc
ヒーター Ta(Tantalum)
熱電対 W5% / WRe26%
熱シールド Ta 多層シールド方法
取付フランジ ICF-70