本バルブは超真空領域（大気圧～10-7Pa）まで利用できるアングルバルブです。 また、油回転ポンプの粗引き用として、簡易型のアングルバルブも用意しております。
特長
- 大気圧～超真空に使用可能
- メンテナンスが容易
機器仕様
| 型式 | MAV-25(P) | MAV-40(P) | MAV-50(P) | MAV-CF-070（P) | MAV-CF-114（P) | MAV-CF-152（P) | |
| 接続フランジ | NW25 | NW40 | NW50 | ICF070 | ICF114 | ICF152 | |
| 材質 | 本体 | SUS304 | |||||
| Oリング | バイトン | ||||||
| ベローズ | 溶接ベローズ（SUS304) | ||||||
| ストローク | 15ｍｍ | 20ｍｍ | 30ｍｍ | 15ｍｍ | 20ｍｍ | 30ｍｍ | |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-6Pa | 大気圧～10-7Pa | |||||
| リーク量 | 5×10-9Pa・ｍ3/sec以下 | ||||||
| 作動方式 | 手動/圧空式 | 手動/圧空式 | |||||
注記）圧空駆動方式（P)も用意できます。
※予告なく変更する場合があります。予めご了承下さい。