高真空バルブ

本バルブは超真空領域(大気圧~10-7Pa)まで利用できるアングルバルブです。 また、油回転ポンプの粗引き用として、簡易型のアングルバルブも用意しております。

特長

  • 大気圧~超真空に使用可能
  • メンテナンスが容易
  • 兼価

機器仕様

型式 MAV-25(P) MAV-40(P) MAV-50(P) MAV-CF-070(P) MAV-CF-114(P) MAV-CF-152(P)
接続フランジ NW25 NW40 NW50 ICF070 ICF114 ICF152
材質 本体 SUS304
Oリング バイトン
ベローズ 溶接ベローズ(SUS304)
ストローク 15mm 20mm 30mm 15mm 20mm 30mm
使用圧力範囲 大気圧~10-6Pa 大気圧~10-7Pa
リーク量 5×10-9Pa・m3/sec以下
作動方式 手動/圧空式 手動/圧空式

注記)圧空駆動方式(P)も用意できます。
※予告なく変更する場合があります。予めご了承下さい。