磁気各種導入器(トランスファーロッド)

  • オールメタルボンネット・軽量・コンパクト角型ボディーの為、平行移動が正確(メンテナンスフリー)
  • 真空装置内で平行直線の移動が必要な時に利用されます。
  • 本導入機は磁気結合型で磁気回路にサマリウムコバルトを使用しております。

用途

  • シャッター等の開閉機構
  • ロードロックより受け渡し
  • サンプルの移動

特長

  • 豊富な移動距離(L=50~1500mm)
  • 容易なメンテナンス(オールメタル製)
  • 超高真空対応(メタルシール)

機器仕様

型式 TR-070M25/50~1500(特注品可)
結合方式 磁気
接続フランジ ICF070(ICF-034可)
伝達トルク 1Nm
アキシャル伝達力 30N
直線移動距離 50~1500mm
使用圧力範囲 大気圧~10-8Pa
許容ベーキング温度 200℃
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
質量 ストローク600(1.3kg)

トランスファーロッド オプション
(測定ユニット)

仕様

最小表示量 0.01mm
繰返し精度 0.01mm
トランスファーロッド専用マウント固定します
移動速度 未特定制限無し
電源 SR44
寿命 通常1270/日(3.5年)
使用温度範囲 0~40℃
※ベーキング時は外してください。

注)モーター等の電源ラインより離れた場所又はノイズを防止して下さい。
高電圧装置に本機を取り付けの際は必ず絶縁パーツを取り外して下さい。

T.Rデジタル スケール型式 表示範囲 表示範囲 繰返し精度
T.RS-10D 表示範囲 100mm 0.01mm
T.RS-15D 表示範囲 150mm 0.01mm
T.RS-20D 表示範囲 200mm 0.01mm
T.RS-30D 表示範囲 300mm 0.01mm

最長表示は1,000mmまで可能です。

オプション

※ご希望によりアナログ型スケールを専用マウントにて固定可