各種真空関連部品


ニップル
材質:SUS304
型式 φA φB φC D
NW10 107-10 30 13.8 10 60
NW16 107-16 30 20.0 16 80
NW25 107-25 40 27.2 24 100
NW40 107-40 55 42.7 39 100
NW50 107-50 75 60.5 55 100

クランプ
材質:AL
型式 A B C φD
NW10/16 101-10 45 61 16 22
NW20/25 101-25 55 72 16 32
NW32/40 101-40 70 90 16 47
NW50   101-50 95 123 25 63

エルボ
材質:SUS304
型式 φA φB φC D
NW10 108-10 30 13.8 10 30
NW16 108-16 30 20.0 16 40
NW25 108-25 40 27.2 24 50
NW40 108-40 55 42.7 39 65
NW50 108-50 75 60.5 55 80

センターリング
材質:SUS304
型式 φA φB
NW10 102-□10 12 10
NW16 102-□16 17 16
NW25 102-□25 26 25
NW40 102-□40 41 40
NW50 102-□50 61 60

(B)-バイトン(N)-ニトリル
ティー
SUS304
型式 φA φB φC D
NW10 109-10 30 13.8 10 30
NW16 109-16 30 20.0 16 40
NW25 109-25 40 27.2 24 50
NW40 109-40 55 42.7 39 65
NW50 109-50 75 60.5 55 80

クロス
材質:SUS304
型式 φA φB φC D
NW10 110-10 30 13.8 10 30
NW16 110-16 30 20.0 16 40
NW25 110-25 40 27.2 24 50
NW40 110-40 55 42.7 39 65
NW50 110-50 75 60.5 55 80

ビューイングポート
材質:SUS304
型式 φA φB φC
ICF70 104-070 70 30 14
ICF114 104-114 114 54 19
ICF152 104-152 152 88 22

※Oリングシール薄型ビューイングポート
レージューサー
材質:SUS304
型式 φA φA, φB φC
NW16/10 111-61 30 30 14 10
NW25/10 111-51 30 40 14 10
NW25/16 111-56 30 40 20 16
NW25/50 111-55 40 75 28 24
NW40/25 111-45 40 55 28 24
NW50/40 111-54 55 75 44 39

フランジ
材質:SUS304
型式 φA φB φC φD T
NW10 105-110 30 12.2 10 13.8 10
NW16 105-116 30 17.2 16 21.7 10
NW25  105-125 40 26.2 24 27.2 10
105-225 20
NW40 105-140 55 41.2 39 42.7 10
105-240 2
NW50 105-250 75 52.2 55 60.5 20

引口パイプ
材質:SUS304
型式 φA φB φC D
NW10 112-10 30 10 6 50
NW16 112-16 30 19 15 50
NW25 112-25 40 27 22 60
NW40 112-40 55 27 22 60
NW50 112-50 75 27 22 60

ブランクフランジ
材質:SUS304
型式 φA φB  φC
NW10 106-10 30 12.2 6
NW16 106-16 30 17.2 6
NW25 106-25 40 26.2 6
NW40 106-40 55 41.2 6
NW50 106-50 75 52.2 6

フレキシブルチューブ
材質:SUS304
型式 A B C 彎曲半径
NW10 114A□10 30 19.0 13.0 60
NW16 114A□16 30 29.5 21.5 75
NW25 114A□25 40 36.0 27.0 100
NW40 114A□40 55 54.0 41.5 180
NW50 114A□50 75 65.0 50.5 210

その他
材質:SUS304
  • JIS変換フランジ(ベロータイプ
  • ベローフランジ
  • ガス導入アタッチメント
    スウェージロック、チューブ(SUSパイプ)及びコネクター各種 VCR,VCO

各種洗浄機

  • 超音波洗浄機
  • 多層式循環型
  • 格槽温度設定型
  • 分析フィルター式
  • 真空乾燥機付

基板周辺機器

  • 多種スパッタ庄着回転機構
  • 真空用基板加熱ヒーターユニット
  • 基板検査装置
  • 基板クリーナー
  • 基板ホルダー
  • 基板マスクエッチング
  • シャッター機構