- 真空中のサンプルまたは機器の直線移動は多くのアプリケーションで要求されております。
- 装置は高精度の直線導入機をお客様に提供致します。
特長
- 手動式
- 直線移動距離：20ｍｍ～100ｍｍ
- フルベーキング：150℃
- モーター駆動機構（オプション）
- 超高真空対応
機器仕様
| 型式 | UFD-034/20～100 | LFD-070/20～100 |
| 接合方式 | 溶接ベローズ | |
| 接合フランジ | ICF034 | ICF070 |
| アキシャル伝達力 | 150N | 200N |
| 移動精度 | 0.05ｍｍ | |
| 直線移動距離 | 20ｍｍ100ｍｍ | |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-8Pa | |
| 許容ベーキング温度 | 150℃ | |
| リーク量 | 2×10-11Pa・ｍ3/sec以下 | |
| 質量 | 0.5～1.4Kg | 06～1.5Kg |