回転導入機

真空中のサンプルまたは機器の回転機構は、多くのアプリケーションに幅広く要求されております。
伝達トルクに応じて、ベローズ式回転導入機と磁気結合型回転導入機の二種類のタイプを用意しております。

展開図

特長

  • ベローズ式と磁気結合型
  • 伝達トルク=00.5Nm~10Nm
  • フルベーキング:150℃(アウトロータ取り外し時:300℃)
  • 超高真空対応

機器仕様

型式 RFD-034 RFD-034H RFD-070 RFD-070H
接合方式 溶接ベローズ 磁気 溶接ベローズ 磁気
接続フランジ ICF034 ICF070
ポジションロック 有り
伝達トルク 0.5Nm 6.0Nm 1.6Nm 10Nm
使用圧力範囲 大気圧~10-8Pa
許容ベーキング温度 150℃
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
質量 0.5kg 0.8kg 1.2kg 2.8kg