実用新案 特許出願中
概要
- 【放電開始圧力】
- 0.023Torr近傍で点灯（他社高性能gunと全く同時に点灯した）
- 【放電持続圧力】 ～実験条件～ Aℓターゲット、100W(RF)
- ・本装置は0.001Torrでも放電安定持続
- （一般的な装置ではこれ以下の圧力制御はできないので測定不可能）
- 0.001Torrで5Wまで放電が持続した。0.003Torrでは3Wまで持続
- ・一般的に高性能と定評のある他社製品では0.002Torrで限界
- （本圧力でも時々放電停止する）
- これらの結果から、本装置はコーティング膜質の向上ができる
- （評価 NIMS（国立研究開発法人 物質・材料研究機構）後藤氏による）
【スパッタレートの評価】
〈実験条件〉 Aℓターゲット、0.003Torr(Ar)、基板ターゲット間距離：55ｍｍ| RF出力（W) | レート（A/s) | 反射波出力（W) |
|---|---|---|
| 50 | 1.5 | 0 |
| 75 | 2.0 | 0 |
| 100 | 2.5 | 0 |
| 125 | 3.0 | 1 |
| 150 | 3.5 | 1 |
〈実験条件〉 Cuターゲット、0.003Torr(Ar)、基板ターゲット間距離：55ｍｍ
| RF出力（W） | レート（A/s) | 反射波出力（W) |
|---|---|---|
| 10 | 0.5 | 0 |
| 25 | 1.5 | 0 |
| 50 | 3.0 | 0 |
| 75 | 4.5 | 0 |
| 100 | 5.5 | 0 |
| 125 | 6.5 | 0～1 |
| 150 | 8.0 | 1 |
【レートの距離依存性】
〈実験条件〉 Cuターゲット、0.003Torr(Ar)、100W(RF)| 基板ターゲット間距離（ｍｍ） | レート（A/s) |
|---|---|
| 55 | 5.5 |
| 65 | 5.0 |
| 75 | 4.5 |
| 85 | 3.5 |
| 95 | 3.0 |
| 105 | 2.5 |
| 115 | 2.5 |
| 125 | 2.0～2.5 |
| 135 | 2.0 |
| 145 | 2.0 |
| 155 | 1.5 |
| 165 | 1.5 |
| 175 | 1.5 |
| 185 | 1.0 |
〈共通実験条件〉 チラー水温：9℃ 使用ガス：Ar 99.999%