真空中のサンプルまたは機器の回転機構は、多くのアプリケーションに幅広く要求されております。
伝達トルクに応じて、ベローズ式回転導入機と磁気結合型回転導入機の二種類のタイプを用意しております。
展開図
特長
- ベローズ式と磁気結合型
- 伝達トルク＝00.5Nm~10Nm
- フルベーキング：150℃（アウトロータ取り外し時：300℃）
- 超高真空対応
機器仕様
| 型式 | RFD-034 | RFD-034H | RFD-070 | RFD-070H |
| 接合方式 | 溶接ベローズ | 磁気 | 溶接ベローズ | 磁気 |
| 接続フランジ | ICF034 | ICF070 | ||
| ポジションロック | 有り | |||
| 伝達トルク | 0.5Nm | 開発中 | 1.6Nm | 10Nm(詳細値検査中) |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～10-8Pa | |||
| 許容ベーキング温度 | 150℃ | |||
| リーク量 | 2×10-11Pa・ｍ3/sec以下 | |||
| 質量 | 0.5kg | 開発中 | 1.2kg | 2.8kg |